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臭氧水杀灭情况有些不同，其氧化反应有两种，微生物菌体既与溶解水中的臭氧直接反应，又与臭氧分解生成之羟基OH的间接反应，由于羟基OH为氧化性的氧化剂，因此臭氧水的杀菌速度极快。
臭氧能氧化分解细菌、病毒内部氧化葡萄糖所的葡萄糖氧化酶，并直接与细菌、病毒发生作用，氧化并穿透其细胞壁，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌、病毒的新陈代谢和繁殖过程遭到破坏，而夺取细菌病毒的生命。同时还可以渗透细胞膜组织、侵入细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透性畸变，导致细胞溶解性死亡，并将死亡菌体内的遗传基因、寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、支原体及热源（内毒素）等溶解死亡。综观无菌技术对微生物作用的原理可分为型、杀菌和溶菌型三种。臭氧灭菌消毒属于溶菌型剂体，可以达到“、地消灭物体内部所有微生物的目的”，不仅这样而且它的作用是瞬间完成的。
臭氧的应用主要以发生量来确定，分为气态下消毒和液态下消毒两大类。臭氧发生量和使用量一般按照发生量的额定发生量乘以时间来确定，但在不同的用途和不同的场所应计出衰减量而后确定。臭氧发生器在使用中，气源的配置直接影响臭氧的发生浓度、产量和纯度，气源一般分为普通气源、干燥空气源、富氧气源和工业氧气气源四种，以上气源的配置 ，在发生装置相同的情况，浓度和产量依次递增。按照应用常识，一般不应配置普通气源，因为这会影响发生装置的连接使用寿命并导致发生量不稳定。
使用范围：
1．公共场所：档案管、图书馆、宾馆、饭店、美容美发管、娱乐场所、厕所及企事业单位和家庭的室内消毒净化空气等，对档案、图书、文件、工具等用品有消毒灭菌的功效。
2．医院、制药厂：更衣室、实验室、手术室、病房、制剂室、手术器械、隔离衣、无菌车间等场所的消毒菌。是药厂、保健食品厂、医院进行GMP标准认证，消毒除菌，净化空气的得力帮手。
3．食品饮料业：车间、无菌室、更衣室、库房及生产器具等消毒杀菌，是广大食品厂进行HACCP标准生产，净化空气，杀菌消毒的有力保障。
4．养殖业：室内养鸡、动物饲养、无菌接种、栽培等除臭消毒、杀菌净化空气。
5．库房：粮食、禽蛋、中草药、水果、蔬菜、肉制品、水产品等空气消毒、防腐保鲜。
6．其它：各行业凡是室内空气需要消毒杀菌，消除异昧防霉保鲜的均可用臭氧消毒杀菌机处理。
