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安全浓度人们允许接触的臭氧浓度不大于0.2mg/m3。
◎臭氧工业卫生标准： 国际臭氧协会： 0.1 ppm，接触10小时 美 国： 0.1 ppm，接触 8小时 德、法、日 本： 0.1 ppm 中 国： 0.15ppm
◎家用臭氧消毒柜外臭氧泄漏量不得超过0.2mg/m3（指1.5米以外），消毒一个周期后残留浓度不得大于0.2mg/m3。
◎动物试验表明，臭氧毒性的起点浓度为0.3ppm，而人对空气中臭氧可嗅知的浓度为0.02～0.04ppm，根据臭氧对肺功能毒性的试验结果，提出1.5～2.0ppm为臭氧允许浓度的上限。卫生部规定臭氧高允许浓度为0.2mg/m3。
从世界的臭氧技术产业来看，以水处理的杀菌净化为主要市场，而水净化臭氧装置包括臭氧源与气水混合装置两部分。臭氧发生器应提供足够浓度与产量的臭氧，混合装置以率使臭氧溶解在水中，即达到一定的臭氧溶解度。因此，一台好的臭氧发生器要有优良的气水混合装置，使臭氧能地和水混合，使水中的臭氧溶解度能满足完全杀菌。
臭氧又称活氧、高能离子氧、三原子氧，臭氧为纯净物。在常温下，易分解，生成氧气和氧原子。用于水和空气的消毒，在化学工业中用作强氧化剂。
臭氧可杀灭细菌繁殖体和牙胞、病毒、真菌等。杀灭率在90% 以上。对于病毒的灭活是通过O3（臭氧）的强氧化作用，直接破坏其RNA或DNA，对细菌、真菌类微生物则是先破坏其细胞膜继而氧化分解细菌的葡萄糖、脱氢氧化酶，导致细菌膜继而氧化过程被破坏，从而造成微生物的死亡。
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